SPTS Technologies是一家下属于KLA的公司，专注于设计，制造，销售和支持蚀刻，PVD，CVD和MVD资本设备，为半导体和微电子行业提供先进的晶圆加工技术和解决方案。终端市场应用包括微机电系统（MEMS）、先进封装、LED、高速射频器件IC和功率半导体。
SPTS成立于2009年，汇集了Trikon Technologies，STS和Aviza Technology等公司40多年的晶圆加工经验。SPTS 提供的解决方案包括行业领先的硅刻蚀、电介质蚀刻、干释刻蚀、PVD、PECVD 和 MVD。SPTS为世界领先的半导体和微电子设备制造商和研究机构提供晶圆加工设备和技术，通过国际办事处和代理商网络提供专门的本地销售和客户支持。根据与SPP技术有限公司的协议，SPTS还提供APCVD解决方案和一系列大批量立式炉。
