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佳能光学设备(上海)有限公司是佳能公司在中国大陆地区成立的提供半导体及液晶面板生产设备营业辅助业务和技术支持业务的公司。公司所经营的产品除了佳能公司制造的半导体及液晶面板生产用曝光装置以外,还包括佳能机械公司,佳能安内华公司以及佳能特机公司承接的全部半导体及液晶面板生产设备。

佳能公司在中国大陆地区从事半导体及液晶面板生产设备业务的历史可以追溯到20世纪80年代,当时开始向中国出口低端半导体曝光装置(接近式曝光装置、镜面投影式曝光装置)。20世纪90年代又为上海地区的半导体客户企业提供了i线Stepper、等离子除胶设备、常压成膜设备等各类佳能集团制造的半导体设备。进入21世纪,随着中国半导体前道工艺的迅速发展,佳能进一步将KrFScanner等高端的半导体曝光装置引进到国内。当时,佳能公司与三井物产集团建立了合作伙伴关系,进一步扩大了在中国的产品销售范围,在中国的液晶面板生产设备市场也得到了顺利的拓展,其中佳能的液晶面板曝光装置从中国液晶产业初期开始始终保持着极高的市场占有率。

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