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在工艺方面,除了追求制程之外,另一条技术路线则是发展特色工艺。
特色工艺聚焦于特殊功能的实现,被认为是“摩尔定律”之外的重要发展分支(“摩尔定律”即通过不断缩小制程线宽来提高芯片的集成度)。特色工艺产品类别广泛,并能形成特色集群优势,拥有各自的市场定位和发展趋势。比如,电源管理、高压驱动、微控制单元、射频、图像传感等细分领域。
功率半导体也是特色工艺的代表。与处理器芯片不同,功率半导体在制程方面不追求极致线宽,也不遵循“摩尔定律”,而专注于结构和技术改进以及材料迭代。
功率半导体用于电力电子领域。用于固态设备,电力电子控制和转换各种系统中的电力,例如汽车、电机驱动器、电源、太阳能和风力涡轮机。这些器件不同于传统的金属氧化物半导体场效应晶体管 (MOSFET)。当今的数字 CMOS FET 由构建在硅顶部的源极、栅极和漏极组成。在操作中,向栅极施加电压,使电流从源极流向漏极。
对于特色工艺产品,如果在制造过程中做一些定制化的设计,产品的性能就会有很大不一样。
目前功率半导体市场规模在全球半导体行业的占比在8%-10%之间。功率半导体是电力电子装置的必备,行业周期性波动较弱。近年来,功率半导体的应用领域已从工业控制和消费电子拓展至新能源、轨道交通、智能电网、变频家电等诸多市场,行业市场规模呈现稳健增长态势。
相比之下,IGBT 和大多数功率 MOSFET 是垂直器件,源极和栅极位于器件顶部,漏极位于底部。在操作中,向栅极施加电压并且电子沿垂直方向移动,垂直方向支持更高的电流和电压。
还有其他差异。在传统的 MOSFET 中,芯片制造商在每一代都缩小晶体管的特征尺寸,从而使芯片具有更高的晶体管密度。在功率器件中,供应商也在缩小晶体管,但还没有达到数字 CMOS 的程度。
Lam Research战略营销高级总监 Michelle Bourke 表示:“如果您考虑 MOSFET 和 IGBT,它们在规模和效率方面正在经历自己的发展轨迹。” “有些人可能会说,与 CMOS 相比,这些功能很大。但是,为了达到该设备性能所需的垂直度和配置文件控制与我们在 Lam 中遇到的一些 CMOS 问题一样具有挑战性。因此,虽然从设备的角度来看,这些功能仍然很大,但从开发的角度来看,这是我们完成的最具挑战性的过程之一。我们正在使这种情况发生。”
通常,对于功率半导体,最重要的考虑因素是其他参数,例如电压 (V)、Rds(on) 和栅极电荷。每个功率半导体器件都有一个额定电压 (V)。“VDSS 中的‘V’ 是最大允许工作电压,或漏源电压规格,”EPC 首席执行官 Alex Lidow 解释道。
导通电阻或 Rds(on) 是源极和漏极之间的电阻值。栅极电荷是开启器件的电荷量。Ron x A很重要。“半导体业务的成本优化一直与芯片缩小联系在一起。此规则也适用于功率器件。Ron x A 是一个关键品质因数,它描述了提供功率器件的特定器件性能所需的硅面积。通常,当我们开发新的电源技术时,我们通过降低新技术的 Ron XA 来获得的成本优势超过了通常更复杂的生产过程的额外成本。这些成本效益可以交付给客户,是成本降低路线图的核心,”英飞凌的 Yee 说。
有多种功率半导体选项可供选择,以适应不同的应用。在硅方面,选择包括功率 MOSFET、超结功率 MOSFET 和 IGBT。功率 MOSFET 被认为是最便宜和最受欢迎的器件,用于适配器、电源和其他产品。它们用于 25 至 500 伏的应用。
超结功率 MOSFET 是增强型 MOSFET,用于 500 至 900 伏系统。同时,领先的中端功率半导体器件是用于 1,200 伏至 6.6 千伏应用的 IGBT。
硅基功率器件在各个领域与 GaN 和 SiC 竞争。GaN 和 SiC 都具有一些令人印象深刻的特性。SiC 提供 10 倍的击穿电场强度和 3 倍的硅带隙。GaN 超过了这些数字。
“宽带隙半导体具有关键优势,但它们将与基于硅的技术并行存在,”Lam Research 战略营销董事总经理 David Haynes 说。“基于硅的技术将持续很长时间。他们非常成熟。基于硅的功率器件正在进行大量的研究和技术开发。”
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